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生产国家：美国

制造厂商：牛津仪器（上海）有限公司

建账日期：2017-07-04

规格型号：MFP-3D Infinity

设备类型：04化学分析仪器, 0403电子显微镜, 040304电子探针(含原子力显微镜、扫描隧道显微镜、扫描探针显微、激光力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜等)

设备编号：21702456

领用人：梁旭

存放地址：(创新港)

操作员姓名：梁旭

操作员邮箱：

操作员办公电话：

实验领域：

其他注意事项：

探针反馈噪音小于20pm（ADeV,0.1-1kHZ）;Z方向扫描范围大于15μm，闭环噪音小于0.25nm；视场可在720μm与240μm之间转换。数字调Q范围：2kHZ-2MHZ；X,Y方向扫描范围90μm，闭环噪音小于0.5nm（ADeV 0.1-1kHZ）;最大可观测直径80mm，厚度10mm

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