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生产国家：德国

制造厂商：SUSS

建账日期：2014-10-24

规格型号：MJB

设备类型：09行业专用仪器/仪表/设备, 0902机械专用仪器/设备, 090201真空获得及其应用设备(镀膜机、沉积系统、刻蚀机等)

设备编号：21315024

领用人：王旭辉, 杨松泉

存放地址：创新港4号巨构一楼超净间

操作员姓名：杨松泉

操作员邮箱：

操作员办公电话：15191869640

实验领域：光刻

其他注意事项：

最小线宽<=1um,套刻精度<=0.5um，光强均匀度优于+-3%，晶圆尺寸4英寸，可支持硬接触、软接触、接近和真空等曝光模式，背面对准精度：2-5um

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