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生产国家：中国

制造厂商：崇文科技

建账日期：2014-10-24

规格型号：50BR

设备类型：09行业专用仪器/仪表/设备, 0902机械专用仪器/设备, 090201真空获得及其应用设备(镀膜机、沉积系统、刻蚀机等)

设备编号：21315444

领用人：王旭辉, 杨明超, 杨松泉

存放地址：创新港4号巨构1层超净间

操作员姓名：杨松泉

操作员邮箱：

操作员办公电话：15191869640

实验领域：金属电极制作

其他注意事项：

20min真空度<3*10-6torr,最终真空度<3*10-7torr，腔体可进行电子束蒸发和热蒸发，一次可沉积金属>=4，蒸发速率和厚度控制2inch厚度不均匀性小于百分之五，腔体可冷水

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