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生产国家：美国

制造厂商：

建账日期：2014-10-24

规格型号：*

设备类型：06实验室常用设备, 0699其它实验室常用设备, 069999其它（其它实验室常用设备）

设备编号：20903681

领用人：朱瑄

存放地址：曲江校区西五楼A区洁净室A105尘区A110室

操作员姓名：朱瑄

操作员邮箱：

操作员办公电话：83395005

实验领域：

其他注意事项：1.配置一个1200W的直流电源，带自动切换器，可以自动切换到所有三个溅射靶枪，实现直流溅射； 2.配置一个600W射频电源，自动匹配，可以自动切换到两个靶枪实现射频溅射，并切换到工件台射线射频偏压预清洗（带独立控制器和匹配器）；