【负责人】
马利静
【所属机构】
16101动力工程多相流国家重点实验室
【仪器简介】
【负责人】
梁旭
【所属机构】
11025航天工程系
【仪器简介】
探针反馈噪音小于20pm(ADeV,0.1-1kHZ);Z方向扫描范围大于15μm,闭环噪音小于0.25nm;视场可在720μm与240μm之间转换。数字调Q范围:2kHZ-2MHZ;X,Y方向扫描范围90μm,闭环噪音小于0.5nm(ADeV 0.1-1kHZ);最大可观测直径80mm,厚度10mm
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